計量用語辞典

本来は合成樹脂の重合の出発物質や重合体を構成する反復単位を表すが、CVD法による微粒子や薄膜の生成過程で、化学反応によって発生した最小単位の物質をさす。
古典的核生成理論では、気相中のモノマー濃度が過飽和に達すると、核生成を起こすと考えられている。